無塵室，也稱潔凈室，是(shi)指一個(ge)具(ju)有低污染(ran)水平的(de)(de)(de)環境(jing)，這里所(suo)指的(de)(de)(de)污染(ran)來(lai)源有灰(hui)塵，空氣(qi)(qi)傳播(bo)的(de)(de)(de)微生物(wu)，懸(xuan)浮顆粒(li)，和化學揮發(fa)性氣(qi)(qi)體。更(geng)準確地(di)講，一個(ge)潔(jie)凈(jing)室(shi)具(ju)有一個(ge)受控(kong)的(de)(de)(de)污染(ran)級(ji)別，污染(ran)級(ji)別可用每(mei)立方(fang)米的(de)(de)(de)顆粒(li)數，或(huo)者用大(da)顆粒(li)大(da)小來(lai)厘定(ding)的(de)(de)(de)。低級(ji)別的(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)通常是(shi)沒(mei)有經過(guo)**的(de)(de)(de)（如沒(mei)有受控(kong)的(de)(de)(de)微生物(wu)），更(geng)多的(de)(de)(de)是(shi)關心空氣(qi)(qi)傳播(bo)的(de)(de)(de)灰(hui)塵。

無塵室的(de)(de)定義：空間范圍(wei)內之空氣中(zhong)的(de)(de)微塵粒子等污染物排除(chu)，而得到(dao)一(yi)個相當潔(jie)凈的(de)(de)環境(jing)。亦即(ji)：這(zhe)個環境(jing)中(zhong)的(de)(de)微塵粒子相當少，稱之為潔(jie)凈室。潔(jie)凈室被(bei)廣(guang)泛地應(ying)用(yong)在(zai)對(dui)環境(jing)污染特別敏(min)感的(de)(de)行業(ye)，例(li)如(ru)半導(dao)體生(sheng)產(chan)、生(sheng)化技(ji)術(shu)(shu)、生(sheng)物技(ji)術(shu)(shu)、精密(mi)機械、制(zhi)藥行業(ye)等，其(qi)(qi)中(zhong)以(yi)半導(dao)體業(ye)其(qi)(qi)對(dui)室內之溫濕度、潔(jie)凈度要(yao)求尤其(qi)(qi)嚴格、故其(qi)(qi)必需(xu)控制(zhi)在(zai)某一(yi)個需(xu)求范圍(wei)內，才不(bu)會對(dui)制(zhi)程產(chan)生(sheng)影響。作為生(sheng)產(chan)設施，潔(jie)凈室可以(yi)占據廠(chang)房很(hen)多位(wei)置(zhi)。

無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經由回風管道間，將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，通過循環風扇或FFU帶(dai)動(dong)潔凈室的氣流循環(huan)帶(dai)走微塵及熱量，后(hou)經過(guo)超高(gao)性能過(guo)濾網或過(guo)濾后(hou)，供應至Fab區。

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